对于石墨烯类材料而言,厚度是其核心表征参数.作为纳米计量学的重要测量工具,原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)为厚度测量和层数测定提供了直接方法.但该技术的测量精度常受限于多种因素,如基底噪声与样品表面形貌起伏等,这...对于石墨烯类材料而言,厚度是其核心表征参数.作为纳米计量学的重要测量工具,原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)为厚度测量和层数测定提供了直接方法.但该技术的测量精度常受限于多种因素,如基底噪声与样品表面形貌起伏等,这些因素会引入显著的测量不确定度,给从样品形貌数据中解译真实厚度值带来了挑战.本文采用AFM对云母基底上的氧化石墨烯样品进行形貌表征,基于最小二乘法和直方图法的原理设计比对试验,进行样品厚度的测量及计算分析.结果表明,采用最小二乘法和直方图法测得的氧化石墨烯厚度值基本一致,且两种方法的测量结果满足测量统计学比对试验评价,所测得的厚度值稳定性好、可靠性高.展开更多
摘要对于石墨烯类材料而言,厚度是其核心表征参数.作为纳米计量学的重要测量工具,原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)为厚度测量和层数测定提供了直接方法.但该技术的测量精度常受限于多种因素,如基底噪声与样品表面形貌起伏等,这些因素会引入显著的测量不确定度,给从样品形貌数据中解译真实厚度值带来了挑战.本文采用AFM对云母基底上的氧化石墨烯样品进行形貌表征,基于最小二乘法和直方图法的原理设计比对试验,进行样品厚度的测量及计算分析.结果表明,采用最小二乘法和直方图法测得的氧化石墨烯厚度值基本一致,且两种方法的测量结果满足测量统计学比对试验评价,所测得的厚度值稳定性好、可靠性高.