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ZrO_2-SiO_2薄膜对离子交换增强玻璃的光学和力学性能影响(英文) 认领 引用 被引量：1
1
作者 张鹤 周珏辉 +1 位作者 张启龙 杨辉 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期785-789,共5页
采用溶胶-凝胶法在玻璃表面制备出ZrO2-SiO2薄膜,然后通过离子交换形成镀膜增强玻璃,研究了薄膜组成对离子交换增强玻璃的力学和光学性能的影响。利用紫外可见分光光度计、激光椭偏仪、纳米压痕、三点抗弯和能谱（EDX）分析了薄膜结构... 采用溶胶-凝胶法在玻璃表面制备出ZrO2-SiO2薄膜,然后通过离子交换形成镀膜增强玻璃,研究了薄膜组成对离子交换增强玻璃的力学和光学性能的影响。利用紫外可见分光光度计、激光椭偏仪、纳米压痕、三点抗弯和能谱（EDX）分析了薄膜结构及性能。结果表明：所有薄膜均连续均匀,纯ZrO2薄膜为四方相结构,含Si薄膜为无定形结构;薄膜具有较高弹性恢复率（≥60%）以及H/E比（≥0.1）,有利于强度增强;随Si含量增加,可见光透过率增大,但表面硬度和杨氏模量随之降低;0.5ZrO2-0.5SiO2薄膜综合性能最佳：表面硬度为18 GPa,抗弯强度为393 MPa,厚度~45 nm时可见光透过率大于85%。 展开更多
关键词 离子交换玻璃 ZrO2-SiO2薄膜 溶胶-凝胶 纳米压痕
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溶胶-凝胶法制备Al_2O_3-ZrO_2-SiO_2复合薄膜 认领 引用 被引量：10
2
作者 王黔平 田秀淑 +2 位作者 王金峰 赵春荣 王聚亮 《水处理技术》 CAS 北大核心 2004年第2期75-77,共3页
本文采用溶胶-凝胶法以异丙醇铝、正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料,HNO3为催化剂,PVA为成膜助剂,在多孔陶瓷管上制得了Al2O3-ZrO2-SiO2复合薄膜。研究了组分配比对溶胶性质的影响,结果表明Al2O3∶ZrO2∶SiO2在8∶1∶2～12∶1∶2之间时可得... 本文采用溶胶-凝胶法以异丙醇铝、正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料,HNO3为催化剂,PVA为成膜助剂,在多孔陶瓷管上制得了Al2O3-ZrO2-SiO2复合薄膜。研究了组分配比对溶胶性质的影响,结果表明Al2O3∶ZrO2∶SiO2在8∶1∶2～12∶1∶2之间时可得到性能符合要求的溶胶。通过扫描电镜可观察到膜的孔径为2～5μm,且膜与基底结合良好。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 Al2O3-ZrO2-SiO2复合薄膜 异丙醇铝 正硅酸乙酯 氧氯化锆 陶瓷膜
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溶胶-凝胶法制备Al_2O_3-SiO_2-ZrO_2薄膜工艺参数探讨 认领 引用 被引量：1
3
作者 董旭娟 同帜 +2 位作者 崔双科 胡敏盾 邹力 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期44-48,共5页
用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜,研究溶胶成分和烧结工艺对薄膜质量的影响.通过黏度测试、热重分析、X射线衍射分析(XRD)及原子力显微镜分析(AFM)等测试方法对溶胶的稳定性、复合膜的热稳定性、晶相组成及表面形貌等进行分析... 用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜,研究溶胶成分和烧结工艺对薄膜质量的影响.通过黏度测试、热重分析、X射线衍射分析(XRD)及原子力显微镜分析(AFM)等测试方法对溶胶的稳定性、复合膜的热稳定性、晶相组成及表面形貌等进行分析.结果表明,当Al2O3∶SiO2∶ZrO2(mol/mol/mol)=1∶2∶0.5时,制得的溶胶粘度适中为3.22mPa·s、透明稳定,且干凝胶无开裂;以0.5℃/min的升温速率升至600℃焙烧2h,并在75℃和240℃附近以0.25℃/min的速率缓慢升温且适当保温后,可得外观透明、性能稳定的Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜,并且薄膜呈致密性、表面平整、结构均匀、无裂纹. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜 膜层开裂 溶胶稳定性
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ZrO_2-SiO_2二元系统平面光波导薄膜的制备与性能表征 认领 引用
4
作者 华斌 钱国栋 +2 位作者 徐静 何赛灵 王民权 《硅酸盐通报》 CAS 2004年第3期35-37,共3页
应用溶胶-凝胶技术,以TEOS与ZrOCl2·8H2O为先驱体,研制了用于有源光波导基质材料的ZrO2-SiO2二元系统薄膜,探明了ZrO2-SiO2二元系统薄膜折射率、厚度与薄膜组分、匀胶速度、陈化时间、热处理温度的内在关系,实现薄膜厚度和薄膜折... 应用溶胶-凝胶技术,以TEOS与ZrOCl2·8H2O为先驱体,研制了用于有源光波导基质材料的ZrO2-SiO2二元系统薄膜,探明了ZrO2-SiO2二元系统薄膜折射率、厚度与薄膜组分、匀胶速度、陈化时间、热处理温度的内在关系,实现薄膜厚度和薄膜折射率在一定范围内的连续可调,为研制一类新型的光通信窗口有源光波导材料提供了基质材料。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 ZrO2-SiO2二元薄膜 平面光波导 制备 性能 折射率 膜厚
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La/TiO_2-SiO_2薄膜的光催化性能研究 认领 引用 被引量：13
5
作者 何静 江伟辉 +2 位作者 于云 宋力昕 胡行方 《无机材料学报》 SCIE EI CAS 北大核心 2006年第1期230-234,共5页
采用溶胶-凝胶法制备了不同掺杂量的La／TiO2-SiO2复合薄膜．通过XRD、 FE-SEM和AFM研究了复合薄膜的微观结构,采用紫外光照射下亚甲基蓝的分解实验比较薄膜的光催化性能．结果表明:La掺杂可显著提高TiO2-SiO2复合薄膜的光催化活性,以5... 采用溶胶-凝胶法制备了不同掺杂量的La／TiO2-SiO2复合薄膜．通过XRD、 FE-SEM和AFM研究了复合薄膜的微观结构,采用紫外光照射下亚甲基蓝的分解实验比较薄膜的光催化性能．结果表明:La掺杂可显著提高TiO2-SiO2复合薄膜的光催化活性,以5％掺杂量为最佳,其光降解率比掺杂前提高了约23％．薄膜活性提高的主要原因是La掺杂后细化了TiO2的晶粒,提高了薄膜的比表面积,使其具有更高的氧化还原电势,La2+取代Ti4+ 进入到TiO2晶格,引起晶格膨胀,这种不同价离子的取代导致TiO2粒子表面电荷分布不平衡,从而提高了光生电子-空穴的分离效率． 展开更多
关键词 TiO2-SiO2薄膜 La掺杂 溶胶-凝胶法 光催化性能
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工作气压对电子束沉积ZrO_2薄膜折射率和聚集密度的影响 认领 引用 被引量：7
6
作者 郝殿中 吴福全 +2 位作者 马丽丽 闫斌 张旭 《光子学报》 EI CAS 北大核心 2006年第2期224-227,共4页
采用电子束蒸发的方法,用石英晶体振荡法监控薄膜的蒸发速率,在不同工作气压下制备了ZrO2薄膜样品.在相调制型椭圆偏振光谱仪和分光光度计上对样品的光谱特性进行了测试.根据波长漂移的理论,计算出薄膜的聚集密度.结果表明,随着工作气... 采用电子束蒸发的方法,用石英晶体振荡法监控薄膜的蒸发速率,在不同工作气压下制备了ZrO2薄膜样品.在相调制型椭圆偏振光谱仪和分光光度计上对样品的光谱特性进行了测试.根据波长漂移的理论,计算出薄膜的聚集密度.结果表明,随着工作气压的降低,薄膜的聚集密度和折射率都随之增大. 展开更多
关键词 薄膜 ZrO2薄膜 折射率 聚集密度 电子束蒸发
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固体超强酸SO_42-/ZrO_2-SiO_2的制备及其催化性能的研究 认领 引用 被引量：14
7
作者 卢冠忠 苏勇 +1 位作者 张顺海 毛东森 《石油化工高等学校学报》 EI CAS 2007年第1期5-8,共4页
分别以氧氯化锆、硅溶胶和氨水为锆源、硅源和沉淀剂,采用共沉淀法制备Zr(OH)4-Si(OH)4,110℃干燥后经硫酸浸渍、干燥和焙烧制得SO42-/ZrO2-SiO2固体超强酸。XRD和比表面积测定结果表明,SiO2的引入对SO42-/ZrO2催化剂的结构产生了重要影... 分别以氧氯化锆、硅溶胶和氨水为锆源、硅源和沉淀剂,采用共沉淀法制备Zr(OH)4-Si(OH)4,110℃干燥后经硫酸浸渍、干燥和焙烧制得SO42-/ZrO2-SiO2固体超强酸。XRD和比表面积测定结果表明,SiO2的引入对SO42-/ZrO2催化剂的结构产生了重要影响,从而使其比表面积明显增大。以所制备的SO42-/ZrO2-SiO2固体超强酸为催化剂,代替浓硫酸用于丁酸和丁醇的酯化反应,考察了硫酸浸渍液浓度、焙烧温度等制备条件对其催化性能的影响。结果表明,采用硫酸浸渍液浓度为1.0 mol/L,焙烧温度为550℃所制备的SO42-/ZrO2-SiO2催化剂,在丁醇和丁酸的物质的量比为1.2及不添加任何带水剂的条件下,丁酸丁酯的收率高达90%以上,优于SO42-/TiO2-WO3和TiSi W12O40/TiO2催化剂。 展开更多
关键词 固体超强酸 SO4^2-/ZrO2-SiO2 丁酸丁酯
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TiO_2-SiO_2/ZrO_2催化剂的制备及催化燃烧甲苯性能 认领 引用 被引量：8
8
作者 刘媛 龙千明 +2 位作者 白云鹤 吕斯濠 范洪波 《化工进展》 CAS 北大核心 2010年第11期2090-2094,2102,共5页
以ZrO2为载体,制备出TiO2-SiO2/ZrO2催化剂,用XRD和SEM对其进行表征;并将催化剂用于甲苯的催化燃烧,探讨了温度、气流速率、进气浓度等因素对甲苯催化效率和反应产物CO、CO2选择性的影响。结果表明:催化剂中的TiO2呈锐钛矿晶型,催化剂... 以ZrO2为载体,制备出TiO2-SiO2/ZrO2催化剂,用XRD和SEM对其进行表征;并将催化剂用于甲苯的催化燃烧,探讨了温度、气流速率、进气浓度等因素对甲苯催化效率和反应产物CO、CO2选择性的影响。结果表明:催化剂中的TiO2呈锐钛矿晶型,催化剂颗粒成功负载于ZrO2表面;随着温度升高,甲苯催化效率增大,350℃时能达到最大值100%,CO2选择性随之增大,但CO选择性却减少;气流速率增大导致甲苯催化效率增大,CO选择性稍稍增大,而CO2选择性减小;进气浓度从25 mg/L增加到100 mg/L时,甲苯催化效率逐渐减小,CO2选择性减小,CO选择性稍有增大。 展开更多
关键词 TiO2-SiO2/ZrO2催化剂 催化燃烧 甲苯
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制备条件对Ni/ZrO_2-SiO_2催化剂煤气甲烷化的影响 认领 引用 被引量：8
9
作者 刘文燕 赵安民 +2 位作者 张海涛 应卫勇 房鼎业 《燃料化学学报》 CSCD 北大核心 2012年第1期86-92,共7页
采用浸渍法制备了ZrO2-SiO2复合载体和Ni质量分数为6%的Ni/ZrO2-SiO2催化剂,考察了载体制备时浸渍溶液pH值、焙烧温度和催化剂制备时的焙烧温度对Ni/ZrO2-SiO2催化剂煤气甲烷化反应性能的影响。采用X射线衍射、程序升温还原和扫描电子... 采用浸渍法制备了ZrO2-SiO2复合载体和Ni质量分数为6%的Ni/ZrO2-SiO2催化剂,考察了载体制备时浸渍溶液pH值、焙烧温度和催化剂制备时的焙烧温度对Ni/ZrO2-SiO2催化剂煤气甲烷化反应性能的影响。采用X射线衍射、程序升温还原和扫描电子显微镜等方法对催化剂进行了表征。结果表明,载体浸渍溶液pH值为8.0～9.0,载体焙烧温度为550℃,催化剂焙烧温度为450℃时,Ni/ZrO2-SiO2催化剂在煤气甲烷化反应中显示了最优的催化性能,CO转化率100%,CO2转化率1.8%,CH4生成速率16.6 mmol/(h.g)。进一步表征发现,制备ZrO2-SiO2复合载体时,增大浸渍溶液的pH值有利于形成粒径较小的亚稳态四方晶相ZrO2,可见四方晶相ZrO2更有利于甲烷化反应;载体焙烧温度会影响到NiO粒径的大小和其在催化剂表面的分散,温度过高和过低都会导致NiO粒径大小的不适宜以及分散性的降低;催化剂焙烧温度过高则会导致NiO与载体间的相互作用减弱,NiO分散性降低。 展开更多
关键词 镍 ZrO2-SiO2 一氧化碳 二氧化碳 甲烷化
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掺杂与应力对ZrO2薄膜电子结构和光学性质的影响 认领 引用 被引量：6
10
作者 张加宏 谢丽君 +4 位作者 陈虎 顾芳 王银 吕达 冒晓莉 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1145-1150,共6页
利用基于密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势方法系统地研究了掺杂和应力对ZrO2薄膜的电子结构与光学性质的影响.本文首先研究了Hf原子替代掺杂对ZrO2薄膜物性的影响,研究结果表明,Hf原子掺杂减小了ZrO2薄膜的带隙和态密度大小,可... 利用基于密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势方法系统地研究了掺杂和应力对ZrO2薄膜的电子结构与光学性质的影响.本文首先研究了Hf原子替代掺杂对ZrO2薄膜物性的影响,研究结果表明,Hf原子掺杂减小了ZrO2薄膜的带隙和态密度大小,可在一定程度上降低其表面缺陷电荷和漏电流.掺杂Hf原子后介电峰和吸收峰的值明显下降,同时介电峰和吸收峰的波形均出现了窄化现象,半高宽显著减小.本文也着重研究了不同应力下四方晶相ZrO2薄膜物理性质变化及规律.研究发现压应力显著调控了ZrO2薄膜的带隙以及价带顶和导带底附近的能带结构.施加应力后吸收峰的吸收范围和强度均显著增大,峰值对应的光子能量蓝移则表明对紫外光的吸收随着应力的增加有所增强.在低能量红外和可见光区域,施加压应力后ZrO2薄膜的折射率变大,但在紫外线区域,压应力使ZrO2薄膜的折射率呈现出先增大后减小的波动特性.上述研究结果为ZrO2薄膜材料的设计与应用提供了理论依据. 展开更多
关键词 ZrO2薄膜 第一性原理 掺杂 应力 电子结构 光学性质
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TeO_2-SiO_2/α-TeO_2复合薄膜的电化学-溶胶凝胶制备及非线性光学性能 认领 引用 被引量：7
11
作者 李强 辜敏 +1 位作者 杜云贵 鲜晓东 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2012年第5期572-578,共7页
以异丙醇碲和正硅酸乙酯作为前驱体,配制了稳定的TeO2-SiO2复合溶胶;以之为电解液采用电化学-溶胶凝胶法制备了黑色的凝胶薄膜,将薄膜经热处理后得到灰白色半透明的复合薄膜.分别采用XRD和SEM-EDX研究复合薄膜的晶体结构、表面形貌及其... 以异丙醇碲和正硅酸乙酯作为前驱体,配制了稳定的TeO2-SiO2复合溶胶;以之为电解液采用电化学-溶胶凝胶法制备了黑色的凝胶薄膜,将薄膜经热处理后得到灰白色半透明的复合薄膜.分别采用XRD和SEM-EDX研究复合薄膜的晶体结构、表面形貌及其组成,结果表明凝胶薄膜的主要成分为Si,Te,O元素,黑色的凝胶薄膜为TeO2-SiO2/Te,灰白色半透明的复合薄膜为少量Te的SiO2-TeO2/α-TeO2;α-TeO2颗粒和少量Te颗粒均匀分散在TeO2-SiO2凝胶复合薄膜中.采用Z-scan方法测试薄膜的光学性能,结果表明其三阶非线性极化率χ(3)为2.171×10-14(m V-1)2. 展开更多
关键词 碲 TeO2-SiO2 电化学-溶胶凝胶法 薄膜 非线性光学
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医用NiTi合金表面溶胶-凝胶法制备TiO_2-SiO_2薄膜 认领 引用 被引量：14
12
作者 刘敬肖 杨大智 蔡英骥 《无机材料学报》 SCIE EI CAS 北大核心 2001年第1期75-80,共6页
采用溶胶－凝胶法在NiTi形状记忆合金表面制备了TiO2－SiO2复合薄膜，在提高医用NiTi合金的抗腐蚀性方面，收到了显著的效果．运用电化学方法对不同组成的TiO2－SiO2薄膜在模拟体液中的腐蚀行为进行了研究，结果表明，随薄膜中 Ti／Si... 采用溶胶－凝胶法在NiTi形状记忆合金表面制备了TiO2－SiO2复合薄膜，在提高医用NiTi合金的抗腐蚀性方面，收到了显著的效果．运用电化学方法对不同组成的TiO2－SiO2薄膜在模拟体液中的腐蚀行为进行了研究，结果表明，随薄膜中 Ti／Si比的增加，TiO2－SiO2薄膜的抗腐蚀性增强．划痕试验表明 TiO2－SiO2（Ti／Si＝4：1）膜与NiTi合金基体具有较高的界面结合强度．用原子力显微镜（AFM）对TiO2－SiO2薄膜的表面形貌及表面粗糙度进行观察和分析，解释并讨论了TiO2－SiO2薄膜的配方组成与其抗腐蚀性的关系，SiO2含量较少时，薄膜结构致密，膜层均匀平滑，且膜基结合力好，作为医用NiTi合金的表面保护层，可以使其耐腐蚀性有显著提高． 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 TiO2-SiO2薄膜 NiTi合金 二氧化钛
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新型纳米ZrO_2/聚酰亚胺复合超薄膜的制备表征及其介电性能 认领 引用 被引量：8
13
作者 程凤梅 马明月 李海东 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1725-1730,共6页
以油酸为有机配体,采用两相方法合成了油溶性的超小尺寸纳米晶体纳米ZrO_2(nano ZrO_2),并对nano ZrO_2表面包覆的油酸改性使纳米晶体与聚酰胺酸(PAA)接枝,通过旋膜法热亚胺化后形成nano ZrO_2/聚酰亚胺(PI)复合超薄膜。利用TEM、XRD、F... 以油酸为有机配体,采用两相方法合成了油溶性的超小尺寸纳米晶体纳米ZrO_2(nano ZrO_2),并对nano ZrO_2表面包覆的油酸改性使纳米晶体与聚酰胺酸(PAA)接枝,通过旋膜法热亚胺化后形成nano ZrO_2/聚酰亚胺(PI)复合超薄膜。利用TEM、XRD、FTIR和SEM等对nano ZrO_2及nano ZrO_2/PI复合超薄膜进行表征,并对nano ZrO_2/PI复合超薄膜的介电性能进行了探究。结果显示,nano ZrO_2尺寸均一(5.0nm左右),为锐钛矿晶型,其晶体结构和尺寸不受改性接枝影响。nano ZrO_2在复合超薄膜中分散良好。电学研究表明,复合超薄膜的介电性能受nano ZrO_2与PAA质量比及制膜热亚胺化温度的影响。当PAA∶ZrO_2质量比为2∶3、热亚胺化温度为320℃时,介电常数达到最大,几乎是纯PI薄膜的2倍。两相法-改性接枝-热亚胺化制备PI复合超薄膜的方法简单高效,能够避免无机粒子在PI基体内的团聚并提高介电性能,对于PI基复合薄膜的制备、应用及推广具有重要意义。 展开更多
关键词 ZrO2 纳米晶体 改性 聚酰亚胺 超薄膜 介电常数
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氧分压对ZrO_2薄膜激光损伤阈值的影响 认领 引用 被引量：5
14
作者 张东平 赵元安 +3 位作者 范树海 高卫东 邵建达 范正修 《强激光与粒子束》 EI CAS 北大核心 2005年第1期9-12,共4页
在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法制备了ZrO2薄膜。分别通过X射线衍射、光学光 谱、热透镜技术、抗激光辐照等测试,对所制备样品的微结构、折射率、吸收率及激光损伤阈值进行了测量。实 验结果表明,薄膜中晶粒主要是四方相为主的... 在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法制备了ZrO2薄膜。分别通过X射线衍射、光学光 谱、热透镜技术、抗激光辐照等测试,对所制备样品的微结构、折射率、吸收率及激光损伤阈值进行了测量。实 验结果表明,薄膜中晶粒主要是四方相为主的多晶结构,并且随着氧分压的增加,结晶度、折射率以及弱吸收均 逐渐降低。薄膜的激光损伤阈值开始随着氧分压增加从18.5J/cm2逐渐增加,氧分压为9×10-3Pa时达到最 大,值为26.7J/cm2,氧分压再增加时则又降低到17.5J/cm2。由此可见,氧分压引起的薄膜微结构变化是 ZrO2薄膜激光损伤阈值变化的主要原因。 展开更多
关键词 ZrO2薄膜 氧分压 激光损伤阈值 电子束热蒸发
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ZrO_2对Li_2O-Al_2O_3-SiO_2微粉析晶行为的影响 认领 引用 被引量：6
15
作者 吴松全 刘宇艳 +1 位作者 王福平 孙德智 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2007年第5期845-850,共6页
采用高分子网络凝胶法成功地制备出Li2O-Al2O3-SiO2-ZrO2(LASZ)微晶玻璃粉,探讨了添加不同含量ZrO2对LASZ微晶玻璃的析晶行为和相转变的影响。研究表明:热处理温度在700～1200℃时,LASZ微粉先形成六方晶系的β-石英固溶体,随热处理温度... 采用高分子网络凝胶法成功地制备出Li2O-Al2O3-SiO2-ZrO2(LASZ)微晶玻璃粉,探讨了添加不同含量ZrO2对LASZ微晶玻璃的析晶行为和相转变的影响。研究表明:热处理温度在700～1200℃时,LASZ微粉先形成六方晶系的β-石英固溶体,随热处理温度的升高,逐渐转变为稳定的四方晶系β-锂辉石固溶体。ZrO2含量增加,降低了β-石英固溶体的结晶温度,延迟了β-石英固溶体向β-锂辉石固溶体的转变。当ZrO2的物质的量分数从0增加到4.0%时,析晶活化能从304.6kJ/mol降低到248.9kJ/mol。所获得的LASZ粉末晶粒大小为20～60nm,晶粒尺寸随温度的升高而增大,随ZrO2的增加而下降。本实验所制备的LASZ微晶玻璃的热膨胀系数为(4～14)×10-7/℃。 展开更多
关键词 高分子网络凝胶法 Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃 ZrO2 β-石英 β-锂辉石
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ZrO_2薄膜微结构及其抗激光损伤特性研究 认领 引用 被引量：4
16
作者 刘安平 韩伟峰 +1 位作者 黄茂 罗庆春 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS 北大核心 2010年第5期333-336,346,共4页
通过分析ZrO2薄膜电子束沉积时氧压、衬底转动及温度对薄膜相结构、晶粒尺寸和粗糙度的影响,对ZrO2薄膜微结构特性与抗激光诱导损伤性能的关系进行了研究.ZrO2薄膜衬底无转动沉积时晶体以四方相为主,而转动沉积时形成具有较高激光损伤... 通过分析ZrO2薄膜电子束沉积时氧压、衬底转动及温度对薄膜相结构、晶粒尺寸和粗糙度的影响,对ZrO2薄膜微结构特性与抗激光诱导损伤性能的关系进行了研究.ZrO2薄膜衬底无转动沉积时晶体以四方相为主,而转动沉积时形成具有较高激光损伤阈值的单斜相结构.薄膜晶粒尺寸和粗糙度均随氧压的升高而减小,四方相受氧压影响变化明显高于单斜相,氧压的继续升高使多晶形态向非晶形态逐渐转变.多晶结构的损伤阈值随着晶粒尺寸的减小而增高,薄膜表面粗糙度随着沉积温度的升高略有增加,且多晶结构的损伤阈值明显要高于非晶结构,ZrO2薄膜损伤阈值(E)与粗糙度(σ)基本符合关系:Eσα=β(α=1.41,β=2.25). 展开更多
关键词 ZrO2薄膜 电子束蒸发 氧分压 激光损伤阈值
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ZrO_2-SiO_2膜的制备和结构研究 认领 引用 被引量：13
17
作者 黄永前 郑昌琼 +1 位作者 胡英 张育林 《功能材料》 EI CAS 北大核心 2000年第2期204-206,共3页
以正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料 ,用溶胶 -凝胶法制备了无支撑ZrO2 -SiO2 膜。应用DTA -TG、XRD、SEM和BET等测试技术对无支撑ZrO2 -SiO2 膜的结构、表面形貌和孔径进行了表征 ,结果表明ZrO2 -SiO2 凝胶膜虽在 46 7℃开始出现少量单斜ZrO... 以正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料 ,用溶胶 -凝胶法制备了无支撑ZrO2 -SiO2 膜。应用DTA -TG、XRD、SEM和BET等测试技术对无支撑ZrO2 -SiO2 膜的结构、表面形貌和孔径进行了表征 ,结果表明ZrO2 -SiO2 凝胶膜虽在 46 7℃开始出现少量单斜ZrO2 ,但在 5 0 0℃和 12 0 0℃热处理后的主晶相均为四方ZrO2 ,显然SiO2 的存在阻碍了四方相ZrO2 向单斜相ZrO2 转变的过程 ,ZrO2 -SiO2 膜具有比ZrO2 膜更高的热稳定性 ,在95 0℃烧结的无支撑ZrO2 -SiO2 膜孔径稍呈双峰分布 ,其最可几孔径为 3 .3 5nm。 展开更多
关键词 ZrO2-SiO2膜 溶胶-凝胶 制备 结构 热稳定性
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溶胶—凝胶ZrO_2陶瓷薄膜早期干燥过程研究 认领 引用 被引量：5
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作者 郭亚丽 张建华 +2 位作者 毕进子 李敏 张勤俭 《宇航材料工艺》 CAS 北大核心 2002年第3期59-61,共3页
采用无机盐先驱体 ,通过溶胶—凝胶法制备了ZrO2 溶胶 ,并对溶胶膜的早期干燥过程进行了研究。结果表明 :ZrO2 溶胶薄膜的早期干燥过程存在着两个恒速干燥期 ,第一恒速干燥期的干燥速度明显高于第二恒速干燥期 ;此外 ,在早期干燥过程中 ... 采用无机盐先驱体 ,通过溶胶—凝胶法制备了ZrO2 溶胶 ,并对溶胶膜的早期干燥过程进行了研究。结果表明 :ZrO2 溶胶薄膜的早期干燥过程存在着两个恒速干燥期 ,第一恒速干燥期的干燥速度明显高于第二恒速干燥期 ;此外 ,在早期干燥过程中 ,随着温度的升高 ,薄膜失重率急剧增加。为了获得质量理想的薄膜 。 展开更多
关键词 ZrO2 陶瓷薄膜 早期干燥 溶胶凝胶法 失重率
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S_2O_82-/ZrO_2-SiO_2固体酸催化剂的制备及催化合成柠檬酸三丁酯 认领 引用 被引量：7
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作者 金瑞娣 吴东辉 +1 位作者 贾雪平 施新宇 《应用化工》 CAS 2005年第1期32-35,共4页
采用共沉淀法制备S2O82-/ZrO2 SiO2固体酸催化剂,并用于柠檬酸三丁酯的合成反应,考察了制备条件对催化剂活性的影响,并对催化剂的稳定性进行分析。实验表明:当n(Zr)∶n(Si)=1∶13(摩尔比)时,用0.5mol/L的过硫酸铵溶液浸渍2h,550℃焙烧3h... 采用共沉淀法制备S2O82-/ZrO2 SiO2固体酸催化剂,并用于柠檬酸三丁酯的合成反应,考察了制备条件对催化剂活性的影响,并对催化剂的稳定性进行分析。实验表明:当n(Zr)∶n(Si)=1∶13(摩尔比)时,用0.5mol/L的过硫酸铵溶液浸渍2h,550℃焙烧3h,催化剂用量为0.75g时,柠檬酸的转化率可达97.3%。且催化剂具有较高的稳定性,可重复使用5次以上。 展开更多
关键词 固体酸S2O8^2-/ZrO2-SiO2 催化 酯化
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溶胶-凝胶法制备TiO_2-SiO_2系亲水性薄膜的研究 认领 引用 被引量：6
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作者 宁青菊 张团红 胡小玲 《材料热处理学报》 EI CAS 北大核心 2007年第4期42-45,共4页
采用溶胶-凝胶(sol-gel)法在陶瓷釉面砖表面制备了TiO2-SiO2系亲水性薄膜。利用XRD、AFM、FTIR、热显微镜润湿角测角仪等,研究了SiO2添加量对薄膜的微结构和亲水性等的影响。结果表明:薄膜中TiO2晶粒尺寸随着SiO2含量的增加而减小;TiO2... 采用溶胶-凝胶(sol-gel)法在陶瓷釉面砖表面制备了TiO2-SiO2系亲水性薄膜。利用XRD、AFM、FTIR、热显微镜润湿角测角仪等,研究了SiO2添加量对薄膜的微结构和亲水性等的影响。结果表明:薄膜中TiO2晶粒尺寸随着SiO2含量的增加而减小;TiO2和SiO2分别单独成相,并有Ti-O-Si键形成,存在部分复合氧化物,在光照条件下,由于取代反应,复合氧化物的表面易形成Lewis酸,薄膜表面吸附的羟基含量增多且稳定,SiO2摩尔分数为0.4时,润湿角小于5°,薄膜的超亲水状态可在停止光照后长时间存在。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶(sol-gel)法 TiO2-SiO2薄膜 亲水性 润湿角
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